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所謂半導體電子潔凈車(chē)間，指的是潔凈度在10萬(wàn)級標準以上的車(chē)間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。
根據潔凈度不同分為100級（小于3.5個(gè)），1000級（小于35個(gè)），10000級（小于350個(gè)），100000級（小于3500個(gè)）。
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